GasPro™ Filtre de înaltă puritate pentru aplicații de manipulare a gazelor, Porvair

GasPro™ Filtre de înaltă puritate pentru aplicații de manipulare a gazelor, Porvair

GasPro™
Filtre de înaltă puritate pentru aplicații de manipulare a gazelor

GasPro™
Filtre de înaltă puritate pentru aplicații de manipulare a gazelor

Gama de produse GasPro™ asigură o curățenie extremă în aplicațiile critice de manipulare și livrare a gazelor pentru semiconductori și microelectronice, inclusiv:

• Managementul siguranței gazelor
• Sisteme de evacuare a gazelor
• Controlul fluxului
• Controlul fluxului de masă
• Înlocuirea supapelor de ac
• Difuzarea fluxului laminar
• Amortizarea presiunii
• Interzicerea flăcării

Putem proiecta soluții personalizate pentru cele mai exigente aplicații, utilizând membrană poroasă PTFE, fibră metalică sinterizată Sinterflo® F și praf metalic sinterizat Sinterflo® P.

Materiale de fabricație
Gama noastră largă de medii poroase include o varietate de dimensiuni de pori și proprietăți ale materialelor. Aceste filtre de înaltă eficiență sunt disponibile în:

• Membrană PTFE
• Fibră metalică sinterizată Sinterflo® F din oțel inoxidabil 316/316L
• Praf metalic sinterizat Sinterflo® P din oțel inoxidabil 316/316L
• Fibră metalică sinterizată Sinterflo® F din nichel
• Praf metalic sinterizat Sinterflo® P din nichel
• Praf metalic sinterizat Sinterflo® P din Hastelloy® C22

Servicii în medii severe
Media de filtrare GasPro™ oferă o rezistență mecanică excelentă, o rezistență îmbunătățită la coroziune și un serviciu la temperaturi ridicate în medii severe.

Rezistență mecanică
Media de filtrare și structura de susținere sunt concepute pentru a rezista la cele mai mari diferențe de presiune. Rezistența mecanică a carcaselor de filtru din oțel inoxidabil 316/316L va asigura un serviciu de încredere.

Rezistență la temperatură
Construcția din oțel inoxidabil 316/316L sau nichel asigură un serviciu la temperaturi ridicate de până la 500°C (930°F). Construcția din Hastelloy® C22 este evaluată pentru 700°C (1290°F) în aplicații cu gaze reduse sau inerte. Cu media de filtru PTFE, filtrele sunt evaluate până la 120°C (250°F).

Rezistență la coroziune
Echipamentele de filtrare GasPro™ sunt prevăzute cu suprafețe electro-polish pentru a preveni coroziunea și formarea particulelor, asigurând un serviciu de încredere pe termen lung. Construcția robustă și rezistența excelentă la coroziune permit utilizarea în o gamă largă de gaze de procesare.

Aplicații tipice

• Filtrarea gazelor inerte utilizate în camerele de încărcare și camerele de proces
• Filtrarea punctului de utilizare a proceselor CVD (depunere pe vapori chimici), epitaxiale, difuziune, gravare cu plasmă și alte procese critice uscate
• Protecția instrumentelor și componentelor
• Reducerea timpilor de ciclu de pompare și a contaminării particulelor în camerele de încărcare, precum și în camerele de răcire și procesare
• Gaze de proces utilizate în sistemele de Depunere pe Vapori Chimici cu Plasmă (PECVD) pentru fabricarea panourilor solare
• Gaze de proces pentru fabricarea sticlei frontale utilizate pentru fotocelule și panouri solare

Restrictoare de flux

• Restrictoarele de flux GasPro™ sunt concepute cu sute de mici pasaje interconectate care oferă beneficii semnificative comparativ cu orificiile de flux restrictive cu un singur canal. Aceste dispozitive de limitare a fluxului sunt adesea instalate în conductele de alimentare cu gaz comprimat și în distribuitoarele de gaze pentru a preveni fluxul neintenționat de gaz cauzat de o conductă de gaz spartă, o supapă defectă sau un regulator de presiune.

Difuzoare de gaz

• Difuzoarele de gaz GasPro™ asigură un flux laminar uniform și elimină particulele sub-micron când se manipulează gaze inerte utilizate în ciclurile de vid/purjare ale încărcătoarelor de wafer. Difuzoarele previn turbulențele care pot răsuci particulele într-o cameră de vid.

Media poroasă GasPro™ este, de asemenea, utilizată de producătorii OEM de purificatoare pentru a susține și a reține media fină de purificare utilizată pentru prevenirea contaminării în sistemele de livrare și distribuire a gazelor în vrac. Media poroasă poate fi fabricată personalizat pentru a îndeplini cerințele critice de dimensiune a porilor, diferențial de presiune și cerințe de flux pentru fiecare design OEM.